西門子多晶硅生產(chǎn)工藝，其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純?nèi)葰涔?，生成多晶硅沉積在硅芯上。經(jīng)過改良后的西門子法——閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法，是當(dāng)前世界主流的生產(chǎn)方法，通過該方法制備的多晶硅的純度能夠長期保持高水平,生產(chǎn)和儲備過程安全性好，沉積速率較高，可達(dá)10~16um/min，一次通過的轉(zhuǎn)換效率也相對較高，達(dá)到5%~20%,三氯氫硅還原時一般不生成硅粉，有利于連續(xù)...
